Jak všichni víme, na světě je pouze jeden výrobce, který umí vyrobit EUV litografii, je to Nizozemí ASML.
A důvod, proč je jediný na světě, je ten, že ASML bude mít mnoho klíčových výrobců spojených dohromady, jako je německá optická společnost Zeiss (Zeiss) a poté United States Cymer a poté německá Tom Fast Group (TRUMPF ) a tak dále.
ASML připoutal tyto výrobce ke svému vozu prostřednictvím investic, akvizic, držení akcií, zakládání výzkumných center a tak dále, a tito výrobci, pravděpodobně jediní výrobci na světě, kteří mohou vyrábět tyto produkty, takže nakonec pouze ASML je schopen vyrábět EUV litografii ve světě.
Nedávno však klíčový dodavatelský řetězec ASML běžel do čínského Shenzhenu, aby zde postavil továrnu, jejíž dceřiná společnost Shenzhen se usadila v Baoan Sino-German (Evropa) Industrial Demonstration Park.
Tímto výrobcem je německá společnost Tom Fast Group (TRUMPF), je to litografie EUV společnosti ASML, jediný světový dodavatel laserových zdrojů.
Jak důležité jsou produkty TRUMPF v litografii EUV? Nejprve mi dovolte vysvětlit princip EUV litografie, pochopíte.
Princip EUV litografie, zjednodušeně řečeno, se soustředí na tři hlavní systémy, EUV systém zdroje UV světla, systém čoček objektivu a stolní systém.
Specifickým procesem je použití laseru k vybuzení 13,5 nm vlnové délky extrémního ultrafialového světla a poté po korekci k vytvoření řízeného světelného paprsku a poté je tento paprsek světla promítán na stůl fotomasky a poté promítán přes objektiv. zrcadlo k osvitovému stolu a nakonec vyleptal obvod na křemíkové destičce potažené fotorezistem.
Jeden ze systémů zdrojů UV světla EUV se získá tak, že se cínová (Sn) kovová kapka ostřeluje 30 kW výkonným CO2 laserem, odpaří se do plazmy a nakonec se získá EUV světlo o vlnové délce 13,5 nm.
Tento CO2 laser o výkonu 30 kW poskytuje společnost TRUMPF, jediná svého druhu na světě.
Nepodceňujte tento CO2 laser, má 457 329 dílů, délka kabelu v systému je až 7 322 metrů a hmotnost 17 090 kg, což je jedna z nejdůležitějších součástí jádra EUV litografie.
Nyní TRUMPF běžel do Číny postavit továrnu, záměr je jasný, to znamená optimistický, pokud jde o čínský laserový trh, a ještě dlouhodobější výhled optimistický ohledně čínského trhu litografie, budoucnost může spolupracovat s Čínou na budování EUV litografie .
Ve skutečnosti již existuje více než jeden dodavatelský řetězec ASML, který běží do Číny, aby postavil továrnu, předtím, než tam jsou KMWE a další výrobci, také do Číny, aby postavili továrnu.
Podle současného trendu lze optimisticky očekávat, že to nemusí dlouho trvat a čínská litografická technologie bude velkým krokem kupředu a dokonce i objem výstupní EUV litografie se má také na co těšit, co myslíte?
